Manufacturing Technology

“国防七子”突破光刻机核心技术，ASML温宁克脸色大变

自从华为推出5G技术之后，美国就开始对中企产生了戒心，而随着鸿蒙系统和麒麟系统的问世，更是对“科技霸权”的美企发起了冲击，拜登的竞选班子，将中企一网打尽，但凡涉及到对美企造成影响的技术，都会受到严厉的惩罚。

很快，一份“实体清单”被列了出来，根据资料显示，中企的数量达到了六百三十九家，所有与美科技相关的公司都需要得到相应的许可才能与之合作，为此他们还进行了四次制裁。

幸运的是，由于华为的自主研发能力很强，拜登的“阴暗手段”被挡了下来，不过美国方面也开始了对中国的新一波制裁，从4G到WIFI，再到HPC。

不过很明显，美国想要“孤立”中国企业的想法并没有想象中的那么容易实现，作为“国防七子”的哈尔滨工业大学，在EUV和双工件台技术上取得了重大进展，又一项“捅破天”的技术出现了。

四月份的时候，哈工大的研究小组成功突破了“电力转换等离子体电路”，这也就意味着他们可以制造出DPP-EUV光源，并且将瞄准7nm制程，这也让他们知道了为什么ASML的CEO温宁克，会对他们“变脸”。

一台EUV光刻设备，要被生产出来了？

自从“芯片条例”生效后，ASML禁止出口EUV光刻机，中芯国际花了大价钱下的订单，却一直没有收到，这就造成了14nm制程的封锁，从此中国萌生了发展自己技术的念头，历经数年，终于接近了国内EUV制程的水平。

首先，中国通过开发荷兰ASML公司所采用的大功率高质量的深紫外线灯，在照明技术上有了重大的进展。

其次，由中国私营公司北京华卓精科研制的EUV光刻机，在双工件平台上实现了技术上的重大突破，实现了对光刻工艺的精确控制。

在此基础上，我们已完成一台超高精度的高精度极光干涉系统，并将该系统用于350纳米到28纳米光刻机的一体化开发与性能验证。

由中国国防科学技术研究院开发的"极紫外光探测器"，利用该探测器的光生载流子传输特性，利用该探测器的光生载流子传输特性，对其它介质（如金属）进行检测，也有很好的应用前景。该探测器在卫星遥感和航空侦察等方面有着巨大的优越性。

再加上“电力转换等离子体电路”的技术，他们完全可以用来生产EUV光刻机，但这并不是一件容易的事情。

要知道，一架EUV光刻机，所需的零件数以十万计，即使是ASML公司，也只有十分之一的零件可以自己生产，剩下的百分之九十，都是由二十多个国家共同生产的，很明显，一架EUV光刻机，同样离不开国际上的供应商，不过幸运的是，这三大关键零件，都是可以自主生产的。

ASML的出口被美国“拿捏”住了，很大程度上是因为其关键技术都是从美企那里得来的，而且还没有实现自主研发，因此温宁克一直对DUV光刻机的禁令嗤之以鼻，而对EUV光刻机的禁令却是缄默不语。

ASML再次改口

在2023年的时候，哈工大的好消息接二连三地传来，先是在2月份宣布了“高精度激光干涉系统”的消息，然后又在国际光子学会议上获得了“金燧奖”的殊荣，紧接着又在三月份宣布了一种新型的微型短波激光系统。

而在四月份，DPP-EUV激光技术的问世，更是让ASML感到了一丝威胁，如果说之前温宁克还对中国的产品抱有很大的希望，那么现在，他的立场已经完全变了，开始指责中国企业自己的产品。

温宁克说道：“如果中国太过依赖于光刻机的研发，而不是建立自己的生产线，那么他们的国际供应链，将会受到严重的影响！”光是这一点，就让他们的一切努力付诸东流，看来欧美各国都不可靠啊。

在光刻技术上，温宁克教授已经迫不及待地想要找到一台属于自己的光刻机了，这也意味着“国防七子”中最可靠的一台，你觉得这件事情如何？