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基板埋入技术的SiC功率模块封装及可靠性优化设计

2023-01-14 09:50:00 2639 BRPCB

一种基于基板埋入技术的新型SiC功率模块封装及可靠性优化设计方法:采用新型光敏成型介质(PID),通过光刻工艺制备SiC MOSFET功率器件电极上的互连盲孔

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